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    磁力驅(qū)動(dòng)泵基于MEMS的微驅(qū)動(dòng)器研制及其特性研究

    發(fā)布時(shí)間: 2013-05-14  點(diǎn)擊次數(shù): 1244次
        根據(jù)被動(dòng)閥微泵的工作原理,提出了一種基于MEMS技術(shù)具 有V型微閥的新型微驅(qū)動(dòng)器,對微驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)中的PZT復(fù)合薄板、微閥 的制作、特性進(jìn)行了工藝模擬,設(shè)計(jì)了相關(guān)制作工藝及版圖尺寸,并實(shí)現(xiàn) 了微驅(qū)動(dòng)器。通過理論分析給出方形PZT復(fù)合薄板的驅(qū)動(dòng)電壓與撓度、 復(fù)合薄板的厚度與撓度,復(fù)合薄板厚度與固有頻率的關(guān)系,為方形硅杯結(jié) 構(gòu)微系統(tǒng)器件的理論與實(shí)驗(yàn)的進(jìn)一步比較分析提供了參考依據(jù)。在研制過 程中發(fā)現(xiàn)V型微閥設(shè)計(jì)制作的關(guān)鍵因素是硅各向異性腐蝕技術(shù)與設(shè)計(jì)尺 寸的關(guān)系,并給出了新型V閥微驅(qū)動(dòng)器的流量、背壓等測試方法。結(jié)果證 明采用MEMS技術(shù)研制的新型V閥微驅(qū)動(dòng)器的工藝方案可行,工藝簡單、 成本低、體積小,尤其適用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域。

        磁力驅(qū)動(dòng)泵是將永磁聯(lián)軸器的工作原理應(yīng)用于離心泵的新產(chǎn)品,主要材料有不銹鋼、增強(qiáng)聚丙稀,工程塑料。設(shè)計(jì)合理、工藝,具有全密封、無泄漏、耐腐蝕的特點(diǎn),其性能達(dá)到國外同類產(chǎn)品的水平。

        主要推薦產(chǎn)品不銹鋼磁力泵,高溫磁力泵,耐腐蝕磁力泵,自吸磁力泵,耐腐蝕液下泵 http://www.172209.com/
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